Ausgangspunkt für die Herstellung der komplexen Integrierten Schaltkreise (IC) sind dünne Silizium-Scheiben, die sogenannten Wafer. Deren Herstellungsprozess umfasst unter anderem das Kristallziehen, das Schneiden der Silizium-Ingots sowie das anschließende Schleifen der Wafer. Hohe Ausbringungsmengen und höchste Zuverlässigkeit der eingesetzten Anlagen sind notwendig, um die immer weiter steigenden Bedarfe der Halbleiter-Industrie bedienen zu können. Für genau diese Applikationen bietet WITTENSTEIN ein breites Portfolio an Antriebslösungen sowie kundenindividuelle, technische Beratung. Zwei Lösungen für den Produktionsprozess der Wafer sollen an dieser Stelle hervorgehoben werden: die CP und NP Baureihen, welche wirtschaftliche und gleichzeitig präzise und zuverlässige Planetengetriebe beinhalten, und die V-Drive Schneckengetriebe, welche höchste Kompaktheit mit herausragenden Gleichlauf-Eigenschaften und niedrigem Laufgeräusch verbinden. Damit hilft WITTENSTEIN dabei, die Effizienz und Produkt-Qualität in der Wafer-Herstellung weiter zu optimieren.

Gemäß dem Mooreschem Gesetz (Moore’s law) verdoppelt sich die Anzahl der Schaltkreise bzw. Transistoren auf einem Wafer innerhalb von 2 Jahren. Um dieser Miniaturisierung gerecht zu werden, findet die Produktion integrierter Schaltkreise inzwischen im Reinraum und teilweise auch im Ultrahochvakuum statt.

Neben dem eigentlichen lithographischen Prozess unter Reinraum- bzw. Vakuumbedingungen (EUV-Prozess) kommen auch Beschichtungsanlagen sowie Anlagen zum Wafer-Handling in den hochautomatisierten Produktionsstätten im Front-End zum Einsatz. Um diesen Anforderungen gerecht zu werden, sind die Antriebstechnologien von WITTENSTEIN in Bezug auf Robustheit, niedrige Ausgasungsrate und hohe Verfügbarkeit optimiert.

Wir besitzen langjährige Erfahrung in der Entwicklung und Herstellung von kundenindividuellen reinraumtauglichen Motoren, wie dem cyber^® cleanroom motor. Konzipiert für Umgebungsbedingungen wie Reinraum bis ISO-Klasse 1, Vakuum bis 10-8 mPa sowie in Wasserstoffumgebung eignet sich der cyber^® cleanroom motor für verschiedenste Antriebsachsen im Front-End Bereich.
Für Handling-Aufgaben innerhalb der Produktionsanlagen bestehen höchste Ansprüche an die Positioniergenauigkeit der Antriebe. Daher kommen neben Koaxial-Getrieben wie z.B. TP⁺, Galaxie^® Getrieben auch kundenindividuelle gehäuselose Servomotoren der Produktfamilie cyber^® kit motors sowie bürstenlose Servoantriebe der cyber^® dynamic line zum Einsatz.

Im Bereich Back-End werden die fertigen Chips vereinzelt, miteinander verbunden, eingehaust und kontaktiert. Die unterschiedlichen Methoden der Kontaktierung erfordern eine exakte Positionierung auf kleinem Bauraum. Um den Anforderungen an die heutigen Chip-Bonding-Anlagen gerecht zu werden, bietet Ihnen WITTENSTEIN kundenindividuelle Linearmotoren der Reihe cyber^® linear motors sowie Bausatzmotoren aus der cyber^® kit line als Direktantriebe mit kompakter Bauweise.

Der Schutz der kontaktierten Mikrochips gegen Umwelteinflüsse wird meist durch vergossene Gehäuse (compression molding) sichergestellt. Je nach Anforderungen für formgepresste Bauteile kommen Motor-Getriebe-Kombinationen mit WITTENSTEIN cyber^® power motors sowie spielarme Koaxial- oder Winkelgetriebe, wie das XP⁺ Planetengetriebe, zum Einsatz.

Direktantriebe haben im Bereich der hochautomatisierten Leiterplattenbestückung großen Einfluss auf die Produktivität. Hohe Dynamik und geringes Eigengewicht bei kleinem Bauraum zeichnen hier die WITTENSTEIN-Antriebe aus und ermöglichen dadurch ungeschlagene Bestückungsleistungen.

Je nach Anwendung kommen sowohl die kundenindividuellen Linearmotoren cyber^® linear motors sowie rotative Servomotoren der Baureihe cyber^® power motors zum Einsatz. Eine Steigerung der Anlagen-Performance, insbesondere der Bestückungsleistung bei gleichbleibendem Bauraum, wir durch den Einsatz von gehäuselosen Servomotoren der cyber^® kit line ermöglicht. Diese überzeugen mit höchster Leistungsdichte bei kleinsten Abmessungen.

Kaum ein anderes Industriesegment weist einen so hohen Automatisierungsgrad auf wie die Halbleiter- und die Flachbildschirmindustrie. Um die steigende Nachfrage nach Automated Material Handling Systemen (AMHS) und Overhead Hoist Transfer Shuttles (OHT) für Front-Opening-Unified-Pods (FOUP), zu bedienen, ist WITTENSTEIN stolz darauf, Ihnen folgende Lösungen zu präsentieren: unser breites Portfolio an Koaxial- und Winkelgetriebelösungen bietet Ihnen für jede Anforderung und Anwendung eine passende Lösung. Zudem eignet sich das kompakte Servoantriebssystem cyber^® iTAS^® system 2, bestehend aus Aktuator und dem passenden Servoregler der cyber^® simco^® line, bestens für Fahrerlose Transportsysteme (FTS). 

Auch für SCARA-Roboter bietet WITTENSTEIN die passende Antriebslösung an, wie beispielsweise unsere TP⁺ Planetengetriebe oder das neuartige Galaxie^® mit höchster Verdrehsteifigkeit. Dies ermöglicht Ihnen hochdynamische und gleichzeitig äußert präzise Bewegungen und Positionierungen der Wafer und Panels.

Neben den Motor-Getriebe-Lösungen bietet WITTENSTEIN zudem ein industrietaugliches Kleinservoantriebssystem: das cyber^® dynamic system. Diese Antriebslösung besteht aus Servoregler und Servomotor in einer kompakten Einheit.

Um vorhandenen Bauraum zu nutzen und um den Konstruktionsaufwand zu reduzieren, bietet WITTENSTEIN auch gehäuselose Servomotoren der cyber^® kit line an.

Die Produktion von Flachbildschirmen unterliegt grundlegenden Trends und Entwicklungen, welche die Bedürfnisse der Branche verändern. Größere Bildschirmformate und neue Display-Technologien, wie beispielsweise OLED, erhöhen die Anforderungen an das eingesetzte Produktions- und Automationsequipment. Um Sie bei dieser Herausforderung zu unterstützen, bietet WITTENSTEIN ein breites Portfolio an Planetengetrieben, von den wirtschaftlichen CP und NP Baureihen, über die präzisen SP⁺ und TP⁺ Baureihen, bis hin zum robusten Flanschgetriebe TP⁺2000 für maximale Drehmomente von bis zu 22.000 Nm. Für Anwendungen mit noch höheren Anforderungen bieten Ihnen unsere spielfreien Galaxie^® Hohlwellen-Antriebssysteme eine unübertroffene Drehmomentdichte, Torsionssteifigkeit und höchsten Gleichlauf. Mit seiner überragenden Laufruhe und höchsten Positioniergenauigkeit übertrifft Galaxie^® andere Antriebslösungen, wie Direktantriebe oder Spannungswellengetriebe, mit Leichtigkeit. Für Sie bedeutet dies, auch größere Panels hochdynamisch transportieren und positionieren zu können.